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基础学院真空室系统、真空获得系统🕐、真空测量系统等采购项目
招标文件
项目名称💤：基础学院真空室系统、真空获得系统、
真空测量系统等采购项目
招标方🙆♂️🌁：意昂5注册网资保处
2012年4月11日
招标文件
招标项目名称⚠️：基础学院真空室系统、真空获得系统🕵️♀️💇♂️、真空测量系统等采购项目
发标时间💇🏿♂️：2012年4月11日星期三
一🫶🏽、 投标邀请
招标方式：
受用户委托和对采购项目的要求🐬🤲🏿，本职能处室对基础学院真空室系统、真空获得系统、真空测量系统等采购项目进行公开招标👟。具体技术参数见附件。
兹邀请合格投标人以密封标书的形式前来投标，标书一式二份，用单独的信封密封🩸，并在信封上标明投标单位及投标项目名称，为确保标书的时效性和可行性，以专人送达为宜👮🏽。
1． 投标地点：意昂5注册网资保处物资供应意昂5（行政楼B113室）
2． 投标截止时间：2012年4月17日16💥：30🙊，逾期收到或不符合规定的投标文件不予接受👏🏽👨🏿🦲。
3． 开标时间和地点：2012年4月18日，采取公开开、评标🖕🏻，地点💒：校资保处🕗。
4． 开、评标结果由资保处具体人员通知投标单位。
5． 凡需对本次招标提出咨询的供应商，请在2012年4月17日前与资保处物资供应意昂5联系👨🏻🚀。
6． 本招标方地址：上海市龙腾路333号 邮编：201620
7． 联系人：高 丹 电话🏄🏿♂️：67791017
具体参数如下：
一 🌥、真空室系统 1套
圆筒型真空室尺寸Ф450mm x350mm，电动上掀盖结构，可内烘烤100～150℃，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行特殊工艺抛光处理🕺，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；
真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下：
1.1 🐝、RF100法兰接口🤷🏻：1个（观察窗口）；
1.2 、RF63法兰接口：1个（观察窗口）；
1.3 、RF10法兰接口：3个（2路进气管路、放气阀）；
1.4 😂、CF150法兰接口：1个（接分子泵）；
1.5 、CF100法兰接口：3个（磁控溅射靶接口）
1.6 ✋🏿、CF35法兰接口：6个(接电离规管、旁抽口、陶封引线2个🧎♀️、备用2个)➔；
1.7 🧌、CF25法兰接口🏊🏿：1个（基片挡板）；
1.8 🙏🏼、CF16法兰接口：1个（备用）💀；
1.9 ⚓️🛟、ZC16法兰接口：1个(接ZC16热偶规管)；
2 、磁控溅射靶组件 3套
2.1 🧑🍳、靶材尺寸：Φ60mm（其中一个可以溅射磁性材料）；
2.2 、永磁靶👌🏿💅：射频溅射与直流溅射兼容，靶内有水冷🦸🏻♂️🤜🏽；
2.3 、电动控制挡板组件⁉️：1套；
2.4 ⬇️、靶配有屏蔽罩，以避免靶材之间的交叉污染(非共溅时安装使用)；
2.5 ✌🏿、三个靶可共同折向上面的样品意昂5，靶与样品距离90～110mm可调🤹🏽♂️；当直接向上溅射时，靶与样品距离40～80mm可调🍞，并有调位距离指示。
3 🗒、单基片水冷加热台组件 1套
3.1 、基片尺寸：可放置30mm基片；
3.2 🕉、基片加热最高温度 800°C±1°C🤹🏿♀️，由热电偶闭环反馈控制；
3.3 👊🏿、取下加热炉可以换上水冷基片台；
3.4 、基片可连续回转，转速5～10转/分；
3.5 👨🏿💻、基片可以加负偏压-200V；
3.6 、手动控制样品挡板组件：1套；
3.7 、样品托🏈：2个；
4 、窗口及法兰接口部件 1套
4.1、RF100玻璃窗口：1块；RF63玻璃窗口♛：1块；
4.2、CF35陶瓷封接引线法兰：2个（照明及内烘烤引线）💭；
4.3、盲法兰CF16：1个🚴🏿⚛️；CF35😼：2个；
5 🧗🏻♂️、工作气路 1套
5.1 、200SCCM、100SCCM质量流量控制器（北京）✶👩🏻🦱、DG16角阀、进气截止阀♿、混气室、管路、接头等：共3路
5.2 𓀍、DG16角阀、管路🏌️♀️、接头等：1路（解除真空冲氮气）；
二、真空获得系统 1套
极限真空度🧕🏽：≤6.67x10-5 Pa (经烘烤除气后)👩；
系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7 Pa.l/S；
系统从大气开始抽气，40分钟可达到6.6x10-4 Pa🍉；
停泵关机12小时后真空度：≤5 Pa；
1.1 ⚉、复合分子泵及变频控制电源👩🏿🔧：1台（抽速600升/秒，北京）；
1.2 📰、直联机械泵：1台（抽速8升/秒，上海）；
1.3 、KF40电磁隔断放气阀🙆：1台（上海）；
1.4 💇🏼♂️、分子泵与机械泵软联接金属软管：1套 ；
1.5 、机械泵与真空室之间的旁抽管路、电磁截止阀及角阀门👩🏿🔧：1套 ；
1.6 、CF150-B闸板阀：1台（用于分子泵与真空室隔离）；
2🙆🏿、安装机台架组件 1套
优质方钢型材（50mmX50mmX4mm）焊接成👨🏼🔧，快卸围板表面喷塑处理🫲🏽；机台表面用不锈钢蒙皮装饰；四只脚轮，可固定，可移动；
三🌳、电器控制软硬件系统 1套
1.1 🦸🏼、电源机柜：1台👊🏻；
1.2 🧴🥷🏿、总控制电源：1台（为分子泵🦠、机械泵、电磁阀、升降电机🍠、真空计等提供电源， 有断电保护功能）🏄🏻；
1.3 、水流报警系统：1套（对分子泵、磁控靶有断水报警切断相应电源功能）；
1.4 、样品加热控温电源⚅：1套（日本产控温表，可实现程序控温）；
1.5 👨👩👧、步进电机旋转电源：1套🍱；
1.6 、靶挡板电源：3套👩❤️👨；
1.7 、加热烘烤及照明电源：1套💁♀️💑；
1.8 🧗🏼♀️、分子泵控制电源：1套🧚🏼♀️；
1.9👨🏽⚕️、500W射频电源：1套；（沈阳）
1.10☂️、500W直流电源：2套；
1.11、-200V直流偏压电源：1套😱；
2、配件 1套
2.1 、￠6mm不锈钢管：6m；
2.2 🧑🏻🦲、电动升降装置🐖🤶🏼：1套；
3、备件 1套
3.1 🈲、无氧铜密封垫圈及管路
CF16🥶：3个；CF35⛩：3个； CF100：2个；CF150🧑🏻🌾：2个；
￠6mm卡套🥯：4套👩🏻🚒；
3.2 🪕、氟橡胶密封圈🌍：￠100mm：1个🤾🏻♂️；￠63mm：1个、动密封胶圈3个；
3.3 、碘钨灯🎤：5个🧑🏻🍼；
3.4 、样品加热丝👰🏽♂️：1套👨🏻🦼➡️；
3.5 、￠100mm玻璃📼：1块🎇；￠63mm玻璃：1块🥭；
3.6 🛌、小型不锈钢标件🏠：M3⚆、M4各3个；
3.7 👮、电器相关的保险丝：各10个🤱🏻。
4、计算机控制系统 1套
由硬件卡𓀗、软件组成（计算机用户自备）；
控制的内容主要有靶挡板🍉、样品自转、样品挡板、样品控温等🙇🏼♀️；
5🤗、工艺
表面化学抛光😛👐🏼，喷砂处理🍊。
四、真空测量系统 1套
1.1 、宽量程数显真空计（成都）🧝♀️：1套👩🏻🦯➡️；
热偶规🃏：1路（1.0x105Pa～1.0x10-1Pa）；
电离规：1路（1.0x10-1Pa～1.0x10-5Pa）；
1.2 、200SCCM、100SCCM质量流量显示器♜：1套🦚；